一种面板检测用管镜装置_专利查询-品牌网

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专利状态

一种面板检测用管镜装置

有效

专利申请进度

申请

2022-09-08

授权

2022-10-28

预估到期

2032-09-08

专利基础信息

申请号	CN202222387409.6	申请日	2022-09-08
授权公布号	CN217688641U	授权公告日	2022-10-28
分类号	G01N21/95;G01B11/00;G02B23/24
分类	测量；测试;
申请人名称	武汉精测电子集团股份有限公司
申请人地址	湖北省武汉市武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号

专利法律状态

2022-10-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种面板检测用管镜装置，其包括照明单元，用于将照明光源发射的照明光束导引至待测物；显微成像单元，用于将由待测物反射的照明光束分束为多个分光束，并将每个分光束导引至一个成像相机；滤光片组件，用于过滤由待测物反射的照明光束使得成像相机获取目标波段的光束。本实用新型既能够保证相机成像的一致性，同时能够有效提升显微检测系统的成像质量。

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