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专利状态
一种银合金溅射靶的制造方法
有效
专利申请进度
申请
2011-09-21
申请公布
2012-02-01
授权
2012-09-05
预估到期
2031-09-21
专利基础信息
申请号 CN201110280482.7 申请日 2011-09-21
申请公布号 CN102337506A 申请公布日 2012-02-01
授权公布号 CN102337506B 授权公告日 2012-09-05
分类号 C23C14/34;C22C21/00;C22C1/02;C22C1/06
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园广州市尤特新材料有限公司
专利法律状态
  • 2020-04-14
    专利权质押合同登记的生效、变更及注销
    状态信息
    专利权质押合同登记的生效、变更及注销
  • 2012-09-05
    授权
    状态信息
    授权
  • 2012-03-28
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20110921
  • 2012-02-01
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本申请涉及一种银合金溅射靶的制造方法,通过严格控制配料比例和投料顺序,并在熔炼和精炼过程中严格控制各合金组元的熔炼温度和熔炼时间获得了可以取代现有技术中的银靶材的合金靶材,并能克服银靶材所存在的技术缺陷。即,通过对不同组分的合金配合不同的熔炼温度和熔炼时间,使获得的合金溅射靶材具有优异的性能。