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专利状态
一种钛铝合金靶材及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2019-12-31
申请公布
2020-05-15
授权
2022-03-08
预估到期
2039-12-31
专利基础信息
申请号 CN201911425902.9 申请日 2019-12-31
申请公布号 CN111155063A 申请公布日 2020-05-15
授权公布号 CN111155063B 授权公告日 2022-03-08
分类号 C23C14/34;C22C14/00;C22C21/00
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2022-03-08
    授权
    状态信息
    授权
  • 2020-05-15
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种钛铝合金靶材及制备方法。所述钛铝合金靶材包括以下重量百分比的组分:钇0.3‑2wt%、钛40~85wt%和铝余量。本发明采用冷喷涂工艺制备钛铝合金靶材,工艺简单,操作方便,合金成分范围宽,适合大规模工业生产,所制得的钛铝合金靶材纯度≥99.9%,相对密度≥95%,尺寸不受限制,厚度可达到3~12mm,长度可达到4000mm,氧含量≤1200ppm,晶粒尺寸小,且镀膜后产品薄膜附着力强。