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专利状态
一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备
有效
专利申请进度
申请
2022-01-12
申请公布
2022-04-26
授权
2022-11-25
预估到期
2042-01-12
专利基础信息
申请号 CN202210032064.4 申请日 2022-01-12
申请公布号 CN114399488A 申请公布日 2022-04-26
授权公布号 CN114399488B 授权公告日 2022-11-25
分类号 G06T7/00;G06T7/68;G06T7/70;C30B29/06;C30B15/26
分类 计算;推算;计数;
申请人名称 苏州天准科技股份有限公司
申请人地址 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号
专利法律状态
  • 2022-11-25
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-04-26
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供了一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备,属于半导体领域,方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据ROI框选目标区域R、对目标区域R所在图框提取横向中分线、计算横向中分线上所有点的灰度值Vg、求横向中分线上所有点灰度值的一阶导数V′g、根据一阶导数V′g筛选出边界点,根据像素距离L′、物理距离L计算两边界点的距离作为液口距;方案基于灰度值变化的一阶导数,获得变化点的精确位置,从而精确计算液口距,通过监测精确的液口距变化,保证拉晶状态的稳定,提高拉晶质量,便于在半导体制造领域推广应用。