一种宽波段的远心照明成像系统和晶圆检测设备

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专利状态

一种宽波段的远心照明成像系统和晶圆检测设备

有效

专利申请进度

申请

2022-09-29

申请公布

2022-11-04

授权

2023-01-03

预估到期

2042-09-29

专利基础信息

申请号	CN202211197218.1	申请日	2022-09-29
申请公布号	CN115289419A	申请公布日	2022-11-04
授权公布号	CN115289419B	授权公告日	2023-01-03
分类号	F21S8/00;F21V14/06;F21V5/00;G01N21/88
分类	照明;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2023-01-03

授权

状态信息

授权
2022-11-04

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及半导体照明技术领域，提供的一种宽波段的远心照明成像系统和晶圆检测设备；远心照明成像系统包括光源模块、准直模块、滤光模块、匀光模块、光瞳调节模块和照明成像模块；该系统具有更多的可选波段，使用变焦设计，保证不同波段下照明光都有较高的能量利用率与较强的能量，系统采用消色差设计，保证了不同波段下照明效果的稳定性；使用了高亮宽波段光源，相较传统氙灯光源，寿命提升；本发明还能实现多种照明视场可调、多种照明模式可调、多种照明强度可调、照明远心等功能；可以在半导体、芯片等需要高精测量的领域推广应用。

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