一种三坐标测量机及标定方法

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专利状态

一种三坐标测量机及标定方法

有效

专利申请进度

申请

2021-11-04

申请公布

2022-01-11

授权

2022-07-29

预估到期

2041-11-04

专利基础信息

申请号	CN202111298735.3	申请日	2021-11-04
申请公布号	CN113916129A	申请公布日	2022-01-11
授权公布号	CN113916129B	授权公告日	2022-07-29
分类号	G01B11/00
分类	测量；测试;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2022-07-29

授权

状态信息

授权
2022-01-11

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种三坐标测量机及标定方法，属于精密测量领域，三坐标测量机包括复合式测量头和底光源组件；所述复合式测量头设置在竖向驱动轴下端，所述竖向驱动轴安装在机台的支撑架上；所述复合式测量头包括接触式探针、影像测头和光谱共焦测头；所述底光源组件设置在所述复合式测量头下方且可控的横向移动。X/Y驱动轴端部设置衍射干涉器。测量头需融合标定。通过本申请的三坐标测量机，结构简单，能够很好的提高测量精度，便于在高精测量领域的推广。

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