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专利状态
单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备
有效
专利申请进度
申请
2022-01-12
申请公布
2022-07-01
授权
2022-12-06
预估到期
2042-01-12
专利基础信息
申请号 CN202210033295.7 申请日 2022-01-12
申请公布号 CN114688984A 申请公布日 2022-07-01
授权公布号 CN114688984B 授权公告日 2022-12-06
分类号 G01B11/08;G01B11/24;C30B15/26;C30B29/06
分类 测量;测试;
申请人名称 苏州天准科技股份有限公司
申请人地址 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号
专利法律状态
  • 2022-12-06
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-07-01
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供了一种单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备,属于半导体领域,方法包括图像采集、单双光圈判定和单双光圈直径测量;拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器,控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、硅料熔态图像接收处理和加料需求的控制,并通过图像处理技术判断是否存在双光圈并计算光圈直径;本申请的方法简单有效,图像处理效率高,灵活设置的阈值对比判定双光圈的存在并测量其直径,为拉晶过程中晶棒的稳定成像提供了判定依据,便于在半导体制造领域推广应用。