用于板材曝光的移载装置_专利查询-品牌网

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专利状态

用于板材曝光的移载装置

有效

专利申请进度

申请

2022-04-12

授权

2022-08-16

预估到期

2032-04-12

专利基础信息

申请号	CN202220829756.7	申请日	2022-04-12
授权公布号	CN217213436U	授权公告日	2022-08-16
分类号	G03F7/20;H05K3/00
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2022-08-16

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种用于板材曝光的移载装置，包括：传送模组用于对板材进行传送；搬运模组用于将所述传送模组上传送的所述板材进行拾取并传送；定位模组安装于所述传送模组上，并用于对所述传送模组上的所述板材进行位置定位，以使得所述搬运模组拾取不同所述板材上的同一位置；该装置通过将定位模组安装于传送模组上，在搬运模组拾取板材之前对其进行位置定位，以提高搬运模组拾取板材的拾取精度，进一步提高曝光机的曝光精度。

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