晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备

有效

专利申请进度

申请

2022-01-12

申请公布

2022-04-19

授权

2022-11-18

预估到期

2042-01-12

专利基础信息

申请号	CN202210033282.X	申请日	2022-01-12
申请公布号	CN114369868A	申请公布日	2022-04-19
授权公布号	CN114369868B	授权公告日	2022-11-18
分类号	C30B15/26;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2022-11-18

授权

状态信息

授权
2022-04-19

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、定位邻接面处光圈的目标区域R、提取目标轮廓、计算轮廓上取点并计算角度差、角度差比较，判定是否断线；本发明的方法通过轮廓线上的角度差与阈值对比判定晶棒是否断线，基于图像处理快速精确获取判定结果，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信