一种拉晶状态监测装置及拉晶设备

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专利状态

一种拉晶状态监测装置及拉晶设备

有效

专利申请进度

申请

2022-11-07

授权

2023-01-17

预估到期

2032-11-07

专利基础信息

申请号	CN202222950186.X	申请日	2022-11-07
授权公布号	CN218321741U	授权公告日	2023-01-17
分类号	C30B15/26;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2023-01-17

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种拉晶状态监测装置及拉晶设备，属于半导体领域，装置包括镜头、相机、相机转接板、调整连接组件、主支柱和支柱座；相机通过相机转接板与调整连接组件连接，调整连接组件通过主支柱和支柱座与机架或晶炉炉体连接，镜头和相机通过调整连接组件正对晶炉的视窗设置，以对炉内的拉晶状态图像采集实现状态监测。拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、拉晶状态图像接收处理和加料需求的控制；通过本申请，可以对拉晶炉内硅料熔化及拉晶状态实时监测，有效控制拉晶质量，结构简单，便于在半导体制造领域推广应用。

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