一种多工位智能表面waviness量检测系统

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专利状态

一种多工位智能表面waviness量检测系统

有效

专利申请进度

申请

2021-05-06

申请公布

2021-07-30

授权

2022-06-21

预估到期

2041-05-06

专利基础信息

申请号	CN202110489851.7	申请日	2021-05-06
申请公布号	CN113188485A	申请公布日	2021-07-30
授权公布号	CN113188485B	授权公告日	2022-06-21
分类号	G01B11/30;G01M11/02
分类	测量；测试;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2022-06-21

授权

状态信息

授权
2021-07-30

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种多工位智能表面waviness量检测系统，包括检测台座、光源投影模组和图像光学采集模组，在检测台座的上表面上水平的并排设置多个载物台，光源投影模组角度可调的设置在多个载物台上方；图像光学采集模组角度和间距可调的设置在多个载物台上方，且与光源投影模组邻接设置，图像光学采集模组的相机个数与载物台个数相等；系统使用条纹反射法，利用PMD原理，同时对多个待测件采集的条纹图像并进行计算得到曲率，来实现对镜面或类镜面待测件waviness的量检测，结构简单可调节，可适应不同规格镜面/类镜面待测件的waviness的精确零检测。

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