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专利状态
一种镀膜载板及镀膜系统
有效
专利申请进度
申请
2023-08-24
授权
2024-03-12
预估到期
2033-08-24
专利基础信息
申请号
CN202322288347.8
申请日
2023-08-24
授权公布号
CN220579367U
授权公告日
2024-03-12
分类号
C23C14/24;C23C14/50
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址
陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
2024-03-12
授权
状态信息
授权
摘要
本申请公开了一种镀膜载板及镀膜系统,镀膜载板包括:载板本体,载板本体中设有用于存储水的容纳槽;盖板,盖板封盖于容纳槽的槽口处;导气组件,导气组件设于盖板上,导气组件与容纳槽连通,容纳槽内的水气化产生的水蒸气经由导气组件排出,导气组件用于调节容纳槽排出的水蒸气的流量。通过镀膜载板承载工件进入镀膜设备中进行镀膜操作时,容纳槽内的水可以持续气化产生水蒸气,水蒸气经由导气组件通入镀膜设备的镀膜腔内,从而能够为镀膜腔内持续均匀地提供水蒸气。并且,通过导气组件还可以调节水蒸气的流量,以实现对水蒸气量的精准控制,有助于提升镀膜质量。
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