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专利状态

一种单晶硅棒拉制装置

有效

专利申请进度

申请

2022-08-22

授权

2023-03-10

预估到期

2032-08-22

专利基础信息

申请号	CN202222214385.4	申请日	2022-08-22
授权公布号	CN218596568U	授权公告日	2023-03-10
分类号	C30B15/00;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-03-10

授权

状态信息

授权

摘要

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置，所述单晶硅棒拉制装置包括：炉体；坩埚，所述坩埚设置于所述炉体内，用于容纳硅液，以从所述硅液中生长单晶硅棒；换热器，所述换热器设置在所述炉体内，且位于所述坩埚的上方；热屏，所述热屏套设在所述换热器外，且与所述换热器之间形成间隙；以及，环状的磁控装置，所述磁控装置嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内，且靠近所述硅液设置，以在所述硅液内形成磁场。本申请实施例中，所述磁控装置可以在所述硅液内形成磁场，抑制所述硅液内部的热对流，降低所述硅液中的杂质含量，提高所述单晶硅棒的拉晶品质。而且，无需改变现有的单晶硅棒装置的原有部件即可实施，通用性较好，实施成本较低。

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