一种硅片脱胶架及硅片脱胶机

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专利状态

一种硅片脱胶架及硅片脱胶机

有效

专利申请进度

申请

2021-08-19

授权

2023-01-13

预估到期

2031-08-19

专利基础信息

申请号	CN202121962307.1	申请日	2021-08-19
授权公布号	CN218299756U	授权公告日	2023-01-13
分类号	H01L21/67;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-01-13

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种硅片脱胶架以及硅片脱胶机，涉及硅片加工技术领域。本申请实施例中，硅片脱胶架包括：架体，以及至少一个挡杆组件；架体包括：相对设置的一对端板，以及连接于两个端板之间的至少一个底杆和两个侧杆，端板、底杆和侧杆围合成用于容纳硅片的容置空间；其中，两个侧杆相对设置于端板的两侧；挡杆组件设置于容置空间内且沿所述侧杆的长度方向延伸，挡杆组件可拆卸连接于两个端板，并将容置空间分隔成至少两个容置槽。本申请实施例中，硅片脱胶架可以按需承载不同尺寸的硅片进行脱胶，结构简单、兼容性好、重复利用率高。

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