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专利状态

一种自动补液系统

有效

专利申请进度

申请

2018-05-25

授权

2019-02-01

预估到期

2028-05-25

专利基础信息

申请号	CN201820791041.0	申请日	2018-05-25
授权公布号	CN208450168U	授权公告日	2019-02-01
分类号	B08B13/00;H01L21/67;H01L31/18
分类	清洁;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2019-02-01

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供的一种自动补液系统，包括液源、第一容器和第二容器；液源与第一容器之间管路连接有主进液管，主进液管上设置有一号泵和一号伺服阀，第一容器顶部管路连接有主出液管，主出液管上设有二号泵、二号伺服阀、四号泵和四号伺服阀，第二容器设置在二号伺服阀与四号泵之间，主出液管上具有分出液管，分出液管上设置有三号泵和三号伺服阀；第一容器与第二容器底部之间连通有平衡管，第一容器和第二容器上分别安装有磁致伸缩装置，磁致伸缩装置之间线路连接有控制器。本实用新型通过伺服阀控制阀门开度实现精准补液，且两个磁致伸缩装置能进行自动校准，减少人工校准中的误差，避免药液对车间环境和人员健康造成影响。

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