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专利状态
用于部件承载件制造的干燥模块及部件承载件制造设备
有效
专利申请进度
申请
2021-03-18
授权
2021-12-17
预估到期
2031-03-18
专利基础信息
申请号 CN202120563634.3 申请日 2021-03-18
授权公布号 CN215216919U 授权公告日 2021-12-17
分类号 F26B9/06;F26B25/00;B08B3/04;H05K3/00
分类 干燥;
申请人名称 奥特斯(中国)有限公司
申请人地址 上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号
专利法律状态
  • 2021-12-17
    授权
    状态信息
    授权
摘要
描述了一种用于部件承载件制造的干燥模块(100),其特征在于,干燥模块(100)包括用于对制造时的部件承载件进行干燥的干燥室(101),其中干燥模块被配置成使液体流过干燥室(101),使得液体对来自干燥室(101)的异物(FM)进行结合并去除。此外,还提供了一种包括干燥模块(100)的部件承载件制造设备(200)。