一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置

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专利状态

一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置

有效

专利申请进度

申请

2021-08-04

授权

2021-12-28

预估到期

2031-08-04

专利基础信息

申请号	CN202121812599.0	申请日	2021-08-04
授权公布号	CN215338097U	授权公告日	2021-12-28
分类号	G01B5/06
分类	测量；测试;
申请人名称	华映科技（集团）股份有限公司
申请人地址	福建省福州市马尾区儒江西路6号

专利法律状态

2021-12-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开一种涂布机检测反馈光刻胶厚度的装置，其包括承载座、顶针和高度检测器；所述承载座固定连接于涂布机的喷头旁，所述顶针的顶部通过弹簧与承载座的底部连接，顶针底部触碰至厚度不同的光刻胶厚度时，能够沿竖直方向做伸缩运动；所述高度检测器固定于承载座的顶部，高度检测器电连接至控制终端，高度检测器将检测到高度变化反馈至控制终端。本实用新型能够提高涂布机涂布光刻胶时的涂布速率和涂布光刻胶的膜厚的稳定性，摈弃光刻胶首检工艺的复杂性，提高机台的稼动率以及机台的稳定性。

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