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专利状态

一种LBO晶体生长用的装置

有效

专利申请进度

申请

2021-05-06

授权

2021-12-10

预估到期

2031-05-06

专利基础信息

申请号	CN202120945702.2	申请日	2021-05-06
授权公布号	CN215103674U	授权公告日	2021-12-10
分类号	C30B9/12;C30B29/22
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	福建福晶科技股份有限公司
申请人地址	福建省福州市软件大道89号F区9号楼

专利法律状态

2021-12-10

授权

状态信息

授权

摘要

本发明公开一种LBO晶体生长用的装置，利用上下层结构，有效防止挥发物掉入晶体表面，腐蚀晶体。

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