一种用于光学元件多线切割上盘垂直度检测辅助装置

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专利状态

一种用于光学元件多线切割上盘垂直度检测辅助装置

有效

专利申请进度

申请

2021-12-01

授权

2022-04-26

预估到期

2031-12-01

专利基础信息

申请号	CN202122983801.2	申请日	2021-12-01
授权公布号	CN216385526U	授权公告日	2022-04-26
分类号	G01B11/26
分类	测量；测试;
申请人名称	福建福晶科技股份有限公司
申请人地址	福建省福州市软件大道89号F区9号楼

专利法律状态

2022-04-26

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于光学元件多线切割上盘垂直度检测辅助装置，该多线切割上盘垂直度检测辅助装置包括Z轴升降台、旋转台、俯仰调节装置、固定座、自准直仪、CCD摄像机、红光激光器。本实用新型提供了一种光学元件在采用多线切割设备加工时，利用该检测辅助装置在光学元件上盘时及时调整好垂直度，提高成品率和生产效率。

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