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专利状态

三轴陀螺仪

有效

专利申请进度

申请

2021-11-04

申请公布

2022-03-11

授权

2023-06-16

预估到期

2041-11-04

专利基础信息

申请号	CN202111301114.6	申请日	2021-11-04
申请公布号	CN114166195A	申请公布日	2022-03-11
授权公布号	CN114166195B	授权公告日	2023-06-16
分类号	G01C19/00
分类	测量；测试;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2023-06-16

授权

状态信息

授权
2022-03-29

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01C19/00；申请日:20211104
2022-03-11

公布

状态信息

公布

摘要

公开了一种三轴陀螺仪，包括衬底和位于衬底上的可动结构层；可动结构层包括：沿第一轴线平行设置并间隔预定距离的第一驱动框架和第二驱动框架分别沿第二轴线进行反方向的谐振运动；弹性框架位于可动结构层的正中心；第一感测结构位于第一驱动框架和第二驱动框架之间，以及沿第二轴线方向对称分布在弹性框架两侧；第二感测结构沿第一轴线方向对称分布在弹性框架的两侧；耦合结构用于将第一感测结构和第二感测结构耦接，并控制第一感测结构和第二感测结构的运行方向相互垂直；第一感测结构由第一驱动框架和第二驱动框架进行驱动，第二感测结构由第一感测结构通过耦合结构被动驱动。本发明实施例提供的三轴陀螺仪，降低轴间干扰以及降低正交误差。

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