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专利状态

MEMS麦克风

有效

专利申请进度

申请

2020-08-19

授权

2021-01-29

预估到期

2030-08-19

专利基础信息

申请号	CN202021755281.9	申请日	2020-08-19
授权公布号	CN212435931U	授权公告日	2021-01-29
分类号	H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2021-01-29

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，衬底上的支撑墙体围合成一空腔，振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔，在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中，支撑墙体的内壁的轮廓会跟随最外圈释放孔靠近支撑墙体的一侧的轮廓。将释放孔阵列中最外圈释放孔配置为背向释放孔阵列的中心的第二侧较面向释放孔阵列的中心的第一侧更平坦，从而平滑支撑墙体内壁的轮廓，抑制尖角的形成，防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落，提高器件的寿命和可靠性。

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