一种单晶炉氧化物清理装置

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专利状态

一种单晶炉氧化物清理装置

有效

专利申请进度

申请

2022-10-27

授权

2023-03-03

预估到期

2032-10-27

专利基础信息

申请号	CN202222849234.6	申请日	2022-10-27
授权公布号	CN218561683U	授权公告日	2023-03-03
分类号	C30B15/00;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	晶科能源股份有限公司
申请人地址	江西省上饶市经济技术开发区迎宾大道1号

专利法律状态

2023-03-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉氧化物清理装置，包括：伞状的开合部、清洁部、驱动装置和连接部，其中所述开合部、所述清洁部、所述驱动装置沿第一方向依次布置，所述第一方向为所述驱动装置指向所述开合部的方向，所述连接部连接所述开合部、所述清洁部、所述驱动装置；所述开合部包括伞面和伞骨，所述伞面张开后的面积小于单晶炉导气筒内径所在圆的面积，所述伞面边缘与所述导气筒内周缘的距离为0.1mm‑0.5mm。通过在清理装置前加装伞状的开合部，清理装置从单晶炉炉底防爆阀处伸至炉内导气筒，推动开合部张开封住导气筒口防止清扫时氧化物返回热场，驱动清洁部开始自上而下转动清扫导气筒内氧化物，实现不拆热场清理单晶炉导气筒。

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