一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法及装置

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专利状态

一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法及装置

有效

专利申请进度

申请

2017-06-19

申请公布

2017-09-01

授权

2023-09-15

预估到期

2037-06-19

专利基础信息

申请号	CN201710463972.8	申请日	2017-06-19
申请公布号	CN107123608A	申请公布日	2017-09-01
授权公布号	CN107123608B	授权公告日	2023-09-15
分类号	H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	晶科能源股份有限公司
申请人地址	浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

专利法律状态

2023-09-15

授权

状态信息

授权
2023-09-05

著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):H01L21/66；变更事项:申请人；变更前:浙江晶科能源有限公司；变更后:浙江晶科能源有限公司；变更事项:地址；变更前:314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号；变更后:314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号；变更事项:申请人；变更前:晶科能源有限公司；变更后:晶科能源股份有限公司
2017-09-29

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/66；申请日:20170619
2017-09-01

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法，该方法为：将待检测电池片放置于反应容器内，并向所述反应容器内通入HF酸蒸气，使所述待检测电池片与所述HF酸蒸气充分接触预定时间。通过该检测方法可以确认硅片表面被金属离子污染的位置，同时可以追溯至出现金属离子污染的工序，从而为后续的生产提供指导，这有利于太阳能电池片工艺制程中异常问题的分析和解决。本发明还设计一种能够实现上述检测方法的太阳能电池制程金属离子污染检测装置。

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