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专利状态

晶粒取放装置

有效

专利申请进度

申请

2022-06-02

授权

2022-09-13

预估到期

2032-06-02

专利基础信息

申请号	CN202221386026.0	申请日	2022-06-02
授权公布号	CN217426703U	授权公告日	2022-09-13
分类号	H01L21/677;H01L21/683
分类	基本电气元件;
申请人名称	深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

专利法律状态

2022-09-13

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶粒取放装置，包括基座、竖向导向结构、横向导向结构、吸嘴组件和电机，竖向导向结构包括竖向导轨和竖向滑座，竖向导轨设于基座，竖向滑座滑动连接于竖向导轨，横向导向结构包括横向导轨和横向滑座，横向导轨连接于竖向滑座，横向滑座可滑动连接于横向导轨，吸嘴组件连接于横向滑座，电机设于基座，电机的输出轴套设有轮盘，轮盘固定设有凸轮随动器，凸轮随动器连接于横向滑座，凸轮随动器用于在电机的驱动下带动横向滑座相对横向导轨滑动，以及带动竖向滑座相对竖向横向导轨滑动，以实现吸嘴组件的横向运动和竖向运动。采用本技术方案，能够在实现小型化设计的同时兼备精度高、速度快、结构简单的特点。

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