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专利状态
真空腔室的真空控制结构
有效
专利申请进度
申请
2019-09-05
授权
2020-05-22
预估到期
2029-09-05
专利基础信息
申请号 CN201921476619.4 申请日 2019-09-05
授权公布号 CN210599315U 授权公告日 2020-05-22
分类号 F04B37/14;H01J37/32
分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
申请人名称 深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址 广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋
专利法律状态
  • 2020-05-22
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及真空控制结构的技术领域,公开了真空腔室的真空控制结构,包括处于常开状态的真空泵、主干管道以及多个分流管道,真空泵与主干管道连接,多个分流管道分别与主干管道连通,分流管道连通有腔室,分流管道上设置有阀门;由于真空泵处于常开状态,主干管道以及分流管道内始终处于真空状态,抽真空时,打开阀门,真空泵只需要抽取真空腔室内的气体,不需要抽取主干管道以及分流管道内的气体,减小了气体的抽取量,节约抽真空的时间,缩短真空腔室达到所需气压的时间,提高了抽真空的效率。