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专利状态
晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质
有效
专利申请进度
申请
2022-04-06
申请公布
2022-07-22
授权
2023-09-01
预估到期
2042-04-06
专利基础信息
申请号 CN202210355318.6 申请日 2022-04-06
申请公布号 CN114783924A 申请公布日 2022-07-22
授权公布号 CN114783924B 授权公告日 2023-09-01
分类号 H01L21/677;H01L21/67;G06T7/73;G06T7/00
分类 基本电气元件;
申请人名称 深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址 广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋
专利法律状态
  • 2023-09-01
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-07-22
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本申请实施例公开一种晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质,所述晶圆搬运设备包括晶圆盒、搬运模组、视觉感测模组和控制模组,所述晶圆盒具有容纳晶圆的容纳空间;所述搬运模组用于自所述容纳空间获取或向所述容纳空间放置所述晶圆;所述视觉感测模组用于拍摄所述容纳空间并输出第一拍摄图像;所述控制模组电连接所述搬运模组和所述视觉感测模组,用于接收并依据所述第一拍摄图像控制所述搬运模组的进行对位,并在完成所述对位后控制所述搬运模组进行所述晶圆的获取或放置。