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专利状态
图像传感器的像素结构
有效
专利申请进度
申请
2020-04-24
授权
2021-02-26
预估到期
2030-04-24
专利基础信息
申请号
CN202020633507.1
申请日
2020-04-24
授权公布号
CN212625579U
授权公告日
2021-02-26
分类号
H01L27/146;H04N5/369
分类
基本电气元件;
申请人名称
格科微电子(上海)有限公司
申请人地址
上海市浦东新区张江盛夏路560号2号楼11层
专利法律状态
2021-02-26
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供一种图像传感器的像素结构,通过设置位于浮置扩散区与传输晶体管之间的多晶硅结构,增加了浮置扩散区与传输晶体管的间距,减少了浮置扩散区和传输晶体管之间重叠区的面积,减小了栅诱导漏极泄漏电流效应,保证器件性能,通过多晶硅结构包围浮置扩散区,以实现浮置扩散区注入工艺与接触孔刻蚀工艺的自对准,减少了由于接触孔刻蚀位置的偏移而导致的暗电流或白点的产生,此外由于增加的多晶硅结构占据了原有浮置扩散区的部分位置,减小了浮置扩散区的面积,降低了浮置扩散区的电容,提高了浮置扩散区的转化增益能力,保证了输出电压信号范围,改善了图像传感器的整体性能。
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