前照式图像传感器的形成方法_专利查询-品牌网

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专利状态

前照式图像传感器的形成方法

有效

专利申请进度

申请

2016-12-29

申请公布

2017-06-13

授权

2021-07-27

预估到期

2036-12-29

专利基础信息

申请号	CN201611240933.3	申请日	2016-12-29
申请公布号	CN106847847A	申请公布日	2017-06-13
授权公布号	CN106847847B	授权公告日	2021-07-27
分类号	H01L27/146
分类	基本电气元件;
申请人名称	格科微电子（上海）有限公司
申请人地址	上海市浦东新区盛夏路560号2号楼11楼

专利法律状态

2021-07-27

授权

状态信息

授权
2019-06-11

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L27/146；申请日:20161229
2017-06-13

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供前照式图像传感器的形成方法，形成位于器件层表面的金属层；对应于感光区域形成至少一辅助金属层；刻蚀介质层至暴露出辅助金属层，所述辅助金属层作为停止层；去除辅助金属层，所述辅助金属层下部的介质层作为停止层。

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