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专利状态

晶圆固定治具

有效

专利申请进度

申请

2021-12-29

授权

2022-05-24

预估到期

2031-12-29

专利基础信息

申请号	CN202123384141.2	申请日	2021-12-29
授权公布号	CN216597551U	授权公告日	2022-05-24
分类号	H01L21/687;H01L21/02;B08B11/02
分类	基本电气元件;
申请人名称	格科微电子（上海）有限公司
申请人地址	上海市浦东新区盛夏路560弄2号楼11F

专利法律状态

2022-05-24

授权

状态信息

授权

摘要

一种晶圆固定治具，所述晶圆固定治具包括：底座，所述底座内凹陷形成晶圆容纳腔；具有开口区域的压板，与所述底座可转动地连接；其中，当所述压板与所述底座打开时，能够向所述晶圆容纳腔内放置晶圆，当所述压板与所述底座闭合时，所述开口区域暴露出所述晶圆的一部分。本实用新型可以在固定晶圆的前提下进行清洁，有效对晶圆进行保护。

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