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专利状态
一种具有去除静电作用的清洗装置和清洗方法
有效
专利申请进度
申请
2015-10-23
申请公布
2015-12-16
授权
2017-07-25
预估到期
2035-10-23
专利基础信息
申请号
CN201510698073.7
申请日
2015-10-23
申请公布号
CN105149308A
申请公布日
2015-12-16
授权公布号
CN105149308B
授权公告日
2017-07-25
分类号
B08B11/00;B08B3/02;B08B3/08;H05F3/06
分类
清洁;
申请人名称
北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥东路1号
专利法律状态
2020-08-25
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
状态信息
专利权人的姓名或者名称、地址的变更;IPC(主分类):B08B11/00;变更事项:专利权人;变更前:北京七星华创电子股份有限公司;变更后:北方华创科技集团股份有限公司;变更事项:地址;变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号;变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2017-07-25
授权
状态信息
授权
2016-01-13
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):B08B11/00;申请日:20151023
2015-12-16
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开了一种具有去除静电作用的清洗装置,包括一本体,本体上部设有一至若干个液体进口和一至若干个气体进口,本体下端中部设有一连通液体进口的液体出口,本体下端还设有一或若干个连通气体进口的气体出口,气体出口为喇叭形;其中,当气体出口为一个时,其环绕液体出口设置,当气体出口为若干个时,其以对称方式均匀环绕在液体出口外侧设置。本发明还公开了一种具有去除静电作用的清洗方法,可在清洗有效区域内消除静电放电电弧及去除晶圆表面的静电,同时又不影响清洗工艺腔室的层流风运作。
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