一种晶片夹持装置_专利查询-品牌网

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专利状态

一种晶片夹持装置

有效

专利申请进度

申请

2015-01-08

申请公布

2015-04-29

授权

2017-07-25

预估到期

2035-01-08

专利基础信息

申请号	CN201510010027.3	申请日	2015-01-08
申请公布号	CN104576495A	申请公布日	2015-04-29
授权公布号	CN104576495B	授权公告日	2017-07-25
分类号	H01L21/687;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利法律状态

2020-08-25

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L21/687；变更事项:专利权人；变更前:北京七星华创电子股份有限公司；变更后:北方华创科技集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号；变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2017-07-25

授权

状态信息

授权
2015-05-27

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/687；申请日:20150108
2015-04-29

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种晶片夹持装置，通过在旋转卡盘设置由磁性动子、定子以及与动子构成螺旋副的螺杆所组成的夹持件，并通过控制单元控制定子的多组线圈中通电电流的通电次序，形成旋转变化的磁场，驱动动子沿螺杆在下方工艺高度与上方取放晶片高度之间作旋转升降运动，并带动动子上的挡块在夹紧晶片的角度与松开晶片的角度之间转动，将晶片夹紧或松开，能够有效解决由于被夹持晶片与卡盘上洁净气体喷射装置距离过大、造成工艺过程中不能对晶片背面进行有效保护的问题，避免化学液对晶片背面的污染，同时，可为从晶片背面抓取晶片的机械手在取放片时留有足够的操作空间，提高了晶片取放动作的可靠性。

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