半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置

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专利状态

半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置

有效

专利申请进度

申请

2016-07-18

申请公布

2016-11-16

授权

2019-03-12

预估到期

2036-07-18

专利基础信息

申请号	CN201610564980.7	申请日	2016-07-18
申请公布号	CN106125682A	申请公布日	2016-11-16
授权公布号	CN106125682B	授权公告日	2019-03-12
分类号	G05B19/418
分类	控制；调节;
申请人名称	北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利法律状态

2020-08-25

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):G05B 19/418；专利号:ZL2016105649807；变更事项:专利权人；变更前:北京七星华创电子股份有限公司；变更后:北方华创科技集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号；变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2019-03-12

发明专利权授予

状态信息

授权
2016-12-14

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G05B 19/418；申请日:20160718
2016-11-16

发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种半导体设备工艺运行状态的管理方法，包括：根据半导体工艺流程创建工艺运行状态队列、事件列表和转换函数；根据上述工艺运行状态队列、事件列表和转换函数生成二维状态转换表；对所述二维状态转换表逐行或逐列查询，依次生成多个状态源临时管理文件，每一所述状态源临时管理文件记录一个所述工艺运行状态，其配置的一个所述转换事件，以及所述工艺运行状态经该转换事件后的状态结果；以及将全部所述状态源临时管理文件合并生成动态配置管理文件。本发明能够解决特定工艺和异常处理等状态转换效率低下和逻辑复杂造成的成功率低的问题。

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