一种光照调节装置及检测系统

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专利状态

一种光照调节装置及检测系统

有效

专利申请进度

申请

2022-09-19

申请公布

2022-10-25

授权

2022-12-02

预估到期

2042-09-19

专利基础信息

申请号	CN202211137099.0	申请日	2022-09-19
申请公布号	CN115237183A	申请公布日	2022-10-25
授权公布号	CN115237183B	授权公告日	2022-12-02
分类号	G05D25/02;H01L21/66
分类	控制；调节;
申请人名称	苏州天准科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

专利法律状态

2022-12-02

授权

状态信息

授权
2022-10-25

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及半导体检测技术领域，提供了一种光照调节装置及检测系统，光照调节装置包括多组感应组、位置传感器、致动器、光强检测器和调节处理器；感应组包括横杆、立杆和感应形变端；光强检测器用于检测感应形变端辐射的光强；根据感应形变端的形状变化和感应组的位置变化驱动感应组的位置；检测系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块、外部输出模块和光强调节模块；该光照调节装置结构简单，每组感应组独立控制，通过位置调节实现缝隙透光调整光照强度的均匀性，提高了检测系统的成像或图像采集的质量，适应于多规格晶圆或光罩的检测，便于在半导体如晶圆或光罩的检测领域推广应用。

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