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专利状态
一种太阳能电池PECVD镀膜装置
有效
专利申请进度
申请
2020-07-29
授权
2021-04-06
预估到期
2030-07-29
专利基础信息
申请号
CN202021524052.6
申请日
2020-07-29
授权公布号
CN212894965U
授权公告日
2021-04-06
分类号
C23C16/458;H01L31/18
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址
江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
专利法律状态
2021-04-06
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池PECVD镀膜装置,包括硅片台,所述硅片台包括放置台,所述放置台包括放置台体,所述放置台体上设置有多个硅片槽,所述硅片槽中间连接有多个放置台卡块,所述放置台卡块中间设置有圆孔,所述硅片槽一侧设置有硅片置入口,所述硅片台还包括镀膜台,所述放置台贴合镀膜台,所述镀膜台包括镀膜台体,所述镀膜台体侧面设置有挡板,所述镀膜台体内侧设置有镀膜台卡块,所述镀膜台卡块上连接有支撑钉,所述支撑钉顶部安装有滚子,所述放置台和放置台一侧连接有固定块,所述固定块通过固定柱和固定螺母将硅片台固定于支撑柱上,所述支撑柱一侧安装有双向电机,本实用新型,具有采用水平置入硅片的方式,可以同时镀膜两面和减小卡点印的特点。
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