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专利状态
一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽
有效
专利申请进度
申请
2021-01-18
授权
2021-07-20
预估到期
2031-01-18
专利基础信息
申请号
CN202120124438.6
申请日
2021-01-18
授权公布号
CN213752662U
授权公告日
2021-07-20
分类号
H01L21/677;H01L21/306;H01L31/20
分类
基本电气元件;
申请人名称
中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址
江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
专利法律状态
2021-07-20
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,包括用于输送硅片的输送架和顶部敞口的槽体,输送架包括多个并排分布且转动设置于槽体内的下滚轮,下滚轮的上方设置有与其转动方向相反的上滚轮,上滚轮和下滚轮之间设置有供硅片通过的间隙,上滚轮的外侧壁上密布有凸起,槽体内滑动设置有浮动件,浮动件用于调节上滚轮和下滚轮之间的间隙。该用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽通过浮动件支撑转动的下滚轮,方便下滚轮上下滑动,调节其与上滚轮的间隙,实现硅片的稳定传输,避免硅片过度受挤压而损坏,并通过凸起打散制绒时硅片下表面的气泡,使反应液充分与硅片接触,保证生成绒面的均匀性,并减少硅片上的滚轮印,提高产品质量。
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