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专利状态
一种石墨舟卡点
有效
专利申请进度
申请
2019-01-21
授权
2019-12-13
预估到期
2029-01-21
专利基础信息
申请号 CN201920091156.3 申请日 2019-01-21
授权公布号 CN209778990U 授权公告日 2019-12-13
分类号 C23C16/458
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
专利法律状态
  • 2019-12-13
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提出了一种石墨舟卡点,包括长方体固定部,所述长方体固定部的两侧居中对称设置有长圆形卡块。在本实用新型中,将传统用于固定硅片的圆形点接触卡点部件调整为线接触的长条形卡点部件,不仅增加了卡点固定硅片的接触面积,能够有效降低硅片在炉管高温下受热产生弧形形变,使得氮化硅在硅片表面沉积更加均匀,各点颜色一致;还增加了卡点导电的接触面积,能够有效减少接触电阻,使得氮化硅沉积更加均匀。