硅片双向输送机构_专利查询-品牌网

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专利状态

硅片双向输送机构

有效

专利申请进度

申请

2015-05-29

授权

2015-11-18

预估到期

2025-05-29

专利基础信息

申请号	CN201520357677.0	申请日	2015-05-29
授权公布号	CN204792731U	授权公告日	2015-11-18
分类号	H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

专利法律状态

2019-07-26

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):H01L 21/677变更前专利权人:中建材浚鑫科技股份有限公司地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更后专利权人:中建材浚鑫科技有限公司地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2015-11-18

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种硅片双向输送机构，包括硅片存储架、横移机构、输送机构以及硅片堆叠架，横移机构包括横移导轨、滑动设置于横移导轨上的滑动架、沿着上下方向滑动设置的第一吸盘以及第二吸盘、分别驱动第一吸盘、第二吸盘滑动的气缸，输送机构具有两个，分别位于硅片存储架的两侧，每个输送机构包括转动设置的两个转辊、呈环形设置且绕设于两个转辊上的两根输送绳第一吸盘与第二吸盘之间的间距为两个输送机构之间间距的一半，生产效率高。

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