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专利状态
一种非制冷红外探测器
有效
专利申请进度
申请
2011-03-21
申请公布
2012-09-26
授权
2014-05-21
预估到期
2031-03-21
专利基础信息
申请号
CN201110069273.8
申请日
2011-03-21
申请公布号
CN102692276A
申请公布日
2012-09-26
授权公布号
CN102692276B
授权公告日
2014-05-21
分类号
G01J5/10;B81B3/00;B81C1/00
分类
测量;测试;
申请人名称
浙江大立科技股份有限公司
申请人地址
浙江省杭州市杭州国家高新技术产业开发区滨康路639号(高新区)
专利法律状态
2014-05-21
授权
状态信息
授权
2012-11-21
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):G01J 5/10申请日:20110321
2012-09-26
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开了一种非制冷红外探测器,特别是一种微桥结构以及由上述微桥结构组成的二维焦平面阵列。微桥结构包含半导体衬底、制作于衬底之上的悬臂梁层次的微结构、制作于衬底之上的盲元层次微结构、以及制作于盲元及悬臂梁之上的像元层次微结构。上述的微桥结构中像元与盲元立体集成在同一个位置的衬底之上,可以有效地避免目前非制冷探测器中由于像元与盲元分布在衬底上相隔较远的不同位置而处于不同温度梯度的缺点。利用上述微桥结构的焦平面探测器可以实现像元与盲元的一一对应关系,这将有效地提高非制冷探测器的背景校正功能,对于改善探测器的性能有较大的帮助。
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