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专利状态

硅片脱胶架

有效

专利申请进度

申请

2022-07-27

授权

2023-01-13

预估到期

2032-07-27

专利基础信息

申请号	CN202221962074.X	申请日	2022-07-27
授权公布号	CN218283094U	授权公告日	2023-01-13
分类号	B08B13/00;H01L21/67
分类	清洁;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-01-13

授权

状态信息

授权

摘要

本公开涉及一种硅片脱胶架，包括第一框体和可拆卸地安装在第一框体内的第二框体，第二框体包括支撑框、用于夹持硅片的夹辊以及安装在支撑框和夹辊之间的摆杆机构，硅片脱胶架整体配置为：在进行脱胶作业时，第二框体位于第一框体内，夹辊夹紧硅片并定位；在脱胶之后的捞取作业中，第二框体带动夹持的硅片从第一框体中移出。在切割后的硅片放入脱胶架后，两侧的夹辊无外部驱动机构驱动的情况下初始为夹紧状态，实现对硅片的夹紧，从而可以免于插入挡片。脱胶架结构简单，不含有机加件，因此成本低廉，任何一部分损坏都可以快速更换，脱胶架维护方便，可以减轻脱胶架因长期浸泡含有硅泥的液体致使积污造成运动不畅。

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