一种单晶硅棒直径的检测方法及检测装置

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专利状态

一种单晶硅棒直径的检测方法及检测装置

有效

专利申请进度

申请

2019-12-25

申请公布

2021-06-25

授权

2023-03-31

预估到期

2039-12-25

专利基础信息

申请号	CN201911361465.9	申请日	2019-12-25
申请公布号	CN113029014A	申请公布日	2021-06-25
授权公布号	CN113029014B	授权公告日	2023-03-31
分类号	G01B11/08
分类	测量；测试;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-03-31

授权

状态信息

授权
2021-06-25

公布

状态信息

公布

摘要

本发明实施例提供的一种单晶硅棒直径的检测方法及检测装置，该方法包括：获取图像采集装置采集的多帧连续的样本图像及所述样本图像对应的拍摄位置；确定所述样本图像中的检测区域的平均灰度值，并根据所述平均灰度值和所述拍摄位置绘制坐标位置曲线图；其中，所述平均灰度值为所述坐标位置曲线图的纵坐标，所述拍摄位置为所述坐标位置曲线图的横坐标；在所述坐标位置曲线图中选取第一峰值点和第二峰值点，并根据所述第一峰值点和所述第二峰值点确定所述单晶硅棒的直径。本发明实施例通过根据对图像采集装置采集的样本图像，进行坐标位置曲线图的绘制，根据坐标位置曲线图的峰值点能够准确的确定单晶硅棒的直径。

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