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专利状态

用于单晶炉的导气装置

有效

专利申请进度

申请

2022-11-09

授权

2023-05-02

预估到期

2032-11-09

专利基础信息

申请号	CN202222990519.1	申请日	2022-11-09
授权公布号	CN218951554U	授权公告日	2023-05-02
分类号	C30B15/00;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-05-02

授权

状态信息

授权

摘要

本公开涉及一种用于单晶炉的导气装置，导气装置包括导气管和保温罩，导气管自上而下呈渐扩状，且导气管的上端口用于供单晶炉内的气体进入，导气管的下端口用于向炉底排气管道排放气体；保温罩用于包覆于导气管的外侧壁。通过将导气管设置为自上而下呈渐扩状的结构，在避免单晶炉内的气体中的杂质在导气管的下端堵塞的同时，上端的收口设计也能够有效地阻止热辐射，防止过多的热量从导气管内散失；另外，通过在导气管的外侧壁设置保温罩也能够有效地防止过多的热量从导气管内散失。

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