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专利状态
一种烘干槽和烘干设备
有效
专利申请进度
申请
2022-09-19
授权
2023-05-02
预估到期
2032-09-19
专利基础信息
申请号
CN202222485088.3
申请日
2022-09-19
授权公布号
CN218955438U
授权公告日
2023-05-02
分类号
F26B25/18;F26B25/02;F26B21/00
分类
干燥;
申请人名称
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址
陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
2023-05-02
授权
状态信息
授权
摘要
本申请实施例提供了一种烘干槽和烘干设备,所述烘干槽包括:槽体,所述槽体上设置有多个用于容纳花篮的定位架;以及顶升机构,所述顶升机构连接于所述定位架,在所述花篮安装于所述定位架的情况下,所述顶升机构可顶起所述花篮内的硅片,以使所述硅片相对所述花篮移动。本申请实施例中,所述烘干槽可以减短所述硅片的烘干时间,提高所述硅片的烘干效率。
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