一种热屏装置和单晶炉热场

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专利状态

一种热屏装置和单晶炉热场

有效

专利申请进度

申请

2022-08-19

授权

2023-01-13

预估到期

2032-08-19

专利基础信息

申请号	CN202222200454.6	申请日	2022-08-19
授权公布号	CN218291174U	授权公告日	2023-01-13
分类号	C30B15/00;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-01-13

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种热屏装置和单晶炉热场，包括：热屏本体以及多个凸起结构，所述凸起结构用于反射和吸收热辐射，其中，多个所述凸起结构均设置于所述热屏本体的底部，所述凸起结构沿所述热屏本体的底部向远离所述热屏本体的方向延伸；多个所述凸起结构沿所述热屏本体的周向间隔设置，相邻两个所述凸起结构之间形成一个导流通道。可以增大晶棒沿其生长方向上的温度梯度，进而提高晶棒的生长速度；且相邻两个所述凸起结构之间形成一个导流通道，便于气体通过并带走固液界面的挥发物。

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