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专利状态
一种单晶炉用换热器及单晶炉
有效
专利申请进度
申请
2022-09-08
授权
2023-03-10
预估到期
2032-09-08
专利基础信息
申请号 CN202222382861.3 申请日 2022-09-08
授权公布号 CN218596574U 授权公告日 2023-03-10
分类号 C30B27/02;C30B29/06
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2023-03-10
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本申请提供了一种单晶炉用换热器及单晶炉,其中,单晶炉用换热器包括换热器本体及导气结构;换热器本体具有生长单晶硅的收容空间,收容空间沿换热器本体的轴线方向延伸,且贯穿换热器本体;导气结构绕收容空间设置于换热器本体一端,导气结构具有导气口,且导气口与收容空间连通;导气结构用于,在换热器与单晶炉中的液体接触时,将从换热器本体的另一端流入收容空间的气体从所述导气口流出。本申请实施例提供的换热器,在换热器本体一端设置具有导气口的导气结构,可以在换热器接近单晶炉中硅液液面或部分浸入硅液时,提供气体向外流动的通道,防止因保护气体气流问题导致的喷硅、溅硅问题,提升单晶炉使用过程中的安全性。