一种热场部件和单晶硅棒拉制装置

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专利状态

一种热场部件和单晶硅棒拉制装置

有效

专利申请进度

申请

2023-07-04

授权

2024-03-26

预估到期

2033-07-04

专利基础信息

申请号	CN202321739753.5	申请日	2023-07-04
授权公布号	CN220665512U	授权公告日	2024-03-26
分类号	C30B29/06;C30B15/14
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2024-03-26

授权

状态信息

授权

摘要

本申请实施例提供了一种热场部件和单晶硅棒拉制装置。所述热场部件包括：环状本体，所述环状本体内设置有环状腔体；壳体，所述壳体设置在所述环状腔体内靠近所述坩埚的一侧，所述壳体内设置有环状的容纳腔；环状的磁性件，所述磁性件连接于所述壳体内；进水管，所述进水管与所述容纳腔连通，所述进水管用于将冷却介质通入所述容纳腔内；以及出水管，所述出水管与所述容纳腔连通，所述出水管用于将所述容纳腔内的所述冷却介质导出。在本申请实施例所述的热场部件应用于单晶硅棒拉制装置的情况下，可以兼顾所述单晶硅棒的拉制速度和拉晶品质。

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