一种热屏对中装置及单晶炉

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专利状态

一种热屏对中装置及单晶炉

有效

专利申请进度

申请

2022-10-25

授权

2023-05-02

预估到期

2032-10-25

专利基础信息

申请号	CN202222823013.1	申请日	2022-10-25
授权公布号	CN218951564U	授权公告日	2023-05-02
分类号	C30B29/06;C30B15/14
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-05-02

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，特别是涉及一种热屏对中装置及单晶炉。热屏对中装置中悬挂组件的一端与热屏连接；悬挂组件的另一端穿设于竖直导向组件，并与竖直导向组件活动连接；竖直导向组件用于调整悬挂组件的竖直高度；竖直导向组件与水平导向组件固定连接；水平导向组件与单晶炉或单晶炉内的工作件连接；水平导向组件用于调整悬挂组件的水平位置。本实用新型实施例的热屏对中装置，可以在水平方向和竖直方向调整热屏在单晶炉内的位置，使得热屏与单晶炉的对中性及一致性相对较好，进而保证热屏在单晶炉热场中的位置准确，避免出现热场漏热、气流不稳等问题，而影响拉晶品质，甚至是导致断线，降低拉晶效率。

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