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专利状态
薄膜沉积设备及冷却结构
有效
专利申请进度
申请
2023-07-07
授权
2024-02-06
预估到期
2033-07-07
专利基础信息
申请号 CN202321781538.1 申请日 2023-07-07
授权公布号 CN220450281U 授权公告日 2024-02-06
分类号 C23C14/50;C23C14/54;C23C16/46;C23C16/52;C23C16/458
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2024-02-06
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开一种薄膜沉积设备及冷却结构,涉及太阳能电池制造技术领域。其中冷却结构包括液冷板,液冷板的内部设置有供冷却液流动的冷却通道,液冷板的至少一侧表面具有多个凹孔;吸热薄膜,液冷板具有凹孔的该侧表面覆盖有吸热薄膜。由于吸热薄膜覆盖液冷板具有凹孔的该侧表面,吸热薄膜对电磁波的吸收效果好,反射率低,因此液冷板表面覆盖吸热薄膜可以吸收更多的热量,同时凹孔的设置增加了液冷板表面的吸热面积以便于吸收更多热量,提高了冷却效果和冷却效率。薄膜沉积设备包括上述冷却结构。