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专利状态

一种坩埚内表面处理设备

有效

专利申请进度

申请

2022-12-26

授权

2023-06-30

预估到期

2032-12-26

专利基础信息

申请号	CN202223488947.0	申请日	2022-12-26
授权公布号	CN219280090U	授权公告日	2023-06-30
分类号	C30B15/10;C30B35/00
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-06-30

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及坩埚清洁设备技术领域，特别涉及一种坩埚内表面处理设备。坩埚内表面处理设备中储液机构用于存储液体；废液收集机构设于腐蚀机构内，用于收集使用过的腐蚀溶液，腐蚀机构用于固定坩埚；注液机构的吸液端与储液机构连通，注液机构的注液端用于向坩埚内输入液体；控制器与注液机构、综合检测模块连接；控制器用于根据综合检测模块检测到的坩埚内腐蚀溶液的状态参数，调整注液机构的流量使得坩埚内的腐蚀溶液保持在参照数据；坩埚内过多的腐蚀溶液流入至废液收集机构内。本实用新型的坩埚内表面处理设备具有自动化程度较高，对坩埚的腐蚀效率高，且产品一致性更好，对坩埚内表面去除效果好的优点。

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