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专利状态
一种单晶炉
有效
专利申请进度
申请
2022-09-30
授权
2023-05-30
预估到期
2032-09-30
专利基础信息
申请号 CN202222622695.X 申请日 2022-09-30
授权公布号 CN219099382U 授权公告日 2023-05-30
分类号 C30B15/20;C30B29/06;G01K7/02;G01K1/12
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2023-05-30
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供了一种单晶炉。所述单晶炉包括坩埚、换热器和测温模组;所述坩埚的顶部和所述换热器的底部间隔设置,所述硅液存储在所述坩埚中;所述测温模组包括测温探头,所述测温探头的一端和所述换热器的底部连接,在所述换热器向靠近所述坩埚移动的情况下,所述测温探头的另一端和所述硅液的液面的接触。这样,在实现对硅液的液面的温度准确测量、降低测量误差的同时,可以保证硅液的液面和换热器的底部存在一定的间隙,避免换热器浸入硅液中,进而保证拉晶过程的正常运转。