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专利状态
一种晶体回熔控制方法和设备、拉晶炉以及计算机存储介质
有效
专利申请进度
申请
2021-05-20
申请公布
2022-11-22
授权
2024-03-01
预估到期
2041-05-20
专利基础信息
申请号 CN202110552586.2 申请日 2021-05-20
申请公布号 CN115369478A 申请公布日 2022-11-22
授权公布号 CN115369478B 授权公告日 2024-03-01
分类号 C30B15/20;C30B15/02;C30B29/06
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2024-03-01
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-12-09
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C30B15/20;申请日:20210520
  • 2022-11-22
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开一种晶体回熔控制方法和设备、拉晶炉以及计算机存储介质,涉及晶棒拉晶技术领域,以可以自动控制晶棒回熔,不仅使得控制晶棒更加准确,提高回熔效率,而且减少人工成本。所述晶体回熔控制方法包括:在晶体断线的情况下,控制坩埚升降装置将坩埚从晶体断线埚位下降至晶体回熔埚位。当坩埚下降至晶体回熔埚位,控制晶体提拉装置调整晶体的位置,使得晶体与熔体液面接触。当晶体与熔体液面接触时,控制加热器对晶体进行回熔操作。根据晶体吸热参数和加热器放热参数确定加热器的放热量大于或等于晶体的回熔吸热量的情况下,确定晶体转化为熔体。